三菱電機と東大、世界で初めてSiCパワー半導体素子の抵抗要因の影響度を解明
- 2017年12月05日 13:00:00
- テクノロジー
- JCN Newswire
なお、本研究成果を「IEDM2017(The International Electron Devices Meeting)」(於:アメリカ San Francisco、12月2日から開催)にて12月5日(日本時間)に発表しました。
開発の特長
1.評価素子を作製し、電子散乱への電荷と原子振動の影響度が大きいことを解明
- 界面下の電荷による影響を確認するため、電子が流れる領域を界面から数十ナノメートル遠ざけた横型の抵抗評価用素子(SiC-MOSFET※4)を作製
- 原子振動に着目し、SiC界面近くの電子散乱を東京大学の評価技術で測定
- SiCの抵抗を左右する電子散乱を起こす3つの要因(1. 界面の凹凸、2. 界面下の電荷、3. 原子振動)(図1)のうち、界面の凹凸の影響は小さく、界面下の電荷と原子振動の影響が大きいことを実験により世界で初めて解明(図2)
2.電荷による電子散乱を抑制し、界面下の抵抗を3分の1に低減
- 横型の抵抗評価用素子において、界面下の電荷から電子の流れを遠ざけることで電荷による電子散乱を抑制し、界面下の抵抗を従来比※3 3 分の1に低減することを確認
今後の展開
今後、本成果をもとに SiC-MOSFET の設計と試作評価を実施し、より一層抵抗の少ない SiCパワー半導体素子の実現にむけた研究開発を推進します。
本リリースの詳細は下記URLをご参照ください。
http://www.mitsubishielectric.co.jp/news/2017/1205-a.pdf
概要:三菱電機株式会社
詳細は http://www.mitsubishielectric.co.jp をご覧ください。
Copyright 2017 JCN Newswire. All rights reserved. www.jcnnewswire.com
「とんでもねぇ美人だ!!」GENKING.黒ビキニ姿が話題 性適合手術から7年を回想
うつ病公表の人気ミュージシャン、ライブ後に「一日中寝たきり」も前向きな思いつづる
杏、連絡先知らない芸人がパリの自宅を訪れ…子どもたちの反応明かす
ダイアモンド☆ユカイ、都知事選めぐり思い「もうまやかしは無理だよ!!」
長友佑都のボスっぷりが半端ないって!! この9人なら11人が相手でも勝てそうな面々で晩さん
アニメーション作家の鴫野彰さん死去、70歳「おそ松くん」「クレヨンしんちゃん」など手がける
大谷翔平が7年目でピッツバーグ初見参、ルースやギブソンゆかりの地でリバーショット飛び出すか
53歳女優、出産の思い出の地で愛息に撮られた写真にファン感動「愛が伝わる」
ホワイトソックスが今季メジャー最長の11連敗…68年ぶりの不名誉記録に地元メディアも嘆き
大谷翔平は気遣いを忘れない ファウル直撃の球審に“神”対応「球審の心にストライクやな」
柏原崇(45)現在を調べてみた結果、相変わらずかっこよすぎた!
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
浜崎あゆみ、子供の写真公開に疑いの声止まず「よそのお宅の子供?」
大谷翔平被弾投手が悪態ついて退場処分!次打者フリーマンと対戦中に判定巡り塁審と口論
YouTuberジュキヤの動画企画が大炎上「普通に痴漢」「気持ち悪すぎ」
千原せいじのシエラレオネ巡る発言 NPO代表理事が公式謝罪忠告「最悪、国家間の問題に発展」
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
大谷翔平10試合ぶり14号 シティフィールド初アーチ、26球場目は自らの日本人記録更新
大谷に被弾→次打者判定で審判と口論→退場→「チーム、自分も最悪」→戦力外
何があった!?「エアコン」が想定外の壊れ具合!投稿者に話を聞いた
柏原崇(45)現在を調べてみた結果、相変わらずかっこよすぎた!
玉置浩二の妻、青田典子(53)の現在がとんでもない事になっていると話題に
ユーチューバーもこう氏、元彼女・成海瑠奈について赤裸々告白
元めちゃイケメンバーの三中元克(32)現在は何をしているのか調べてみた!
TikTokを賑わす「フエラムネごめんなサイダー味」がセブンイレブンで再販!じゅるるマスカットも買うなら今!
小倉優子、不自然な“二重ライン”にネット騒然「やっぱり整形?」
ガーシーが綾野剛のLINE公開でネット騒然「ショック」「すごいエンタメ」
岡本夏生(56)、1600日ぶりにブログを更新した現在が衝撃
大原櫻子、ガーシー暴露後初のSNS投稿に賛否の声「イメージ最悪になった」
「とんでもねぇ美人だ!!」GENKING.黒ビキニ姿が話題 性適合手術から7年を回想
杏、連絡先知らない芸人がパリの自宅を訪れ…子どもたちの反応明かす
うつ病公表の人気ミュージシャン、ライブ後に「一日中寝たきり」も前向きな思いつづる
ダイアモンド☆ユカイ、都知事選めぐり思い「もうまやかしは無理だよ!!」
長友佑都のボスっぷりが半端ないって!! この9人なら11人が相手でも勝てそうな面々で晩さん
アニメーション作家の鴫野彰さん死去、70歳「おそ松くん」「クレヨンしんちゃん」など手がける
大谷翔平が7年目でピッツバーグ初見参、ルースやギブソンゆかりの地でリバーショット飛び出すか
53歳女優、出産の思い出の地で愛息に撮られた写真にファン感動「愛が伝わる」
ホワイトソックスが今季メジャー最長の11連敗…68年ぶりの不名誉記録に地元メディアも嘆き
大谷翔平は気遣いを忘れない ファウル直撃の球審に“神”対応「球審の心にストライクやな」